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UHP前驅(qū)體源瓶

 滿足超高純工藝，適用于超高純應(yīng)用
 浸潤金屬部件為SUS316L，廣泛的化學(xué)兼容性
 外部機(jī)械拋光至鏡面，內(nèi)部電解拋光至粗糙度
 Ra≤0.25μm 
 (氦氣)：≤1.0x10 std cm /s
 連接尺寸：1/4" 至 1/2"
 連接方式：金屬面密封接頭
 提供多種容積定制服務(wù)

  • 尺寸參數(shù)
  • 產(chǎn)品特性

前驅(qū)體源瓶
       在ALD、CVD等半導(dǎo)體工藝制程中，選擇合適的前驅(qū)體對工藝控制、薄膜性能等方面至關(guān)重要:同時根據(jù)前驅(qū)體特性，如揮發(fā)性、反應(yīng)性等，配以合適的源瓶對工藝會有協(xié)同效應(yīng)。邁格諾科全新系列源瓶組件通過對選材到成型工藝的高品質(zhì)把控，能適應(yīng)絕大部分前驅(qū)體封裝存儲，為整段沉積工藝提供絕佳的安全性和潔凈度保障。

為半導(dǎo)體、生物制藥和化學(xué)沉積行業(yè)提供可靠的流體介質(zhì)存儲及輸送方案。

      我們提供 400 多種鋼瓶型號，容積從 10 毫升到 100 升不等。并通過一系列清潔、改裝和氣瓶重新認(rèn)證等業(yè)務(wù)為客戶提供全方位產(chǎn)品服務(wù)。
目前，廠房面積有15000㎡，廠內(nèi)建有通過第三方認(rèn)證的千級及百級潔凈間，并在百級潔凈間內(nèi)配有多套18兆超純水清洗及氣體抽烘置換裝置，擁有前驅(qū)體源瓶設(shè)計、制造、測試、清潔和封裝的全制程生產(chǎn)能力。
      目前產(chǎn)品已通過TUVPED4.3 認(rèn)證，邁格諾科可以響應(yīng)半導(dǎo)體、食品和制藥行業(yè)的任何容器要求。如有需求，請致電我們了解更多信息。