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一體式氣動90°角閥


一體式方形鋁制擋板閥

卓越的導(dǎo)熱性使整個閥體溫度均勻，并顯著減少閥內(nèi)氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時間。

工作壓力：1x10-5Pa

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導(dǎo)體晶圓的重金屬污染降至最低。


  • 尺寸參數(shù)
  • 產(chǎn)品特性






卓越的導(dǎo)熱性使整個閥體溫度均勻，并顯著減少閥內(nèi)氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時間。

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導(dǎo)體晶圓的重金屬污染降至最低。