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一體式氣動Y型直線角閥

一體式方形鋁制擋板閥

卓越的導熱性使整個閥體溫度均勻，并顯著減少閥內氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時間。

工作壓力：1x10-5Pa

使用壽命：大于35萬次

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導體晶圓的重金屬污染降至最低。

  • 尺寸參數(shù)
  • 產品特性







一體式方形鋁制擋板閥

卓越的導熱性使整個閥體溫度均勻，并顯著減少閥內氣體的冷凝。

低釋氣性使得可以使用低功率泵，并且還能縮短排氣時間。

工作壓力：1x10-5Pa

大通量、小體積、（閥體）優(yōu)異的抗氟腐蝕性能。

該閥門不含鎳（Ni）或鉻（Cr）等重金屬，而且其低濺射率也有助于將半導體晶圓的重金屬污染降至最低。