超高純度直線式氣體過濾器。
316L不銹鋼結構。
滿足高溫及動態(tài)壓力工況應用。
緊湊的及可選終端接口設計。
產(chǎn)品特性流量范圍廣，從15至300 SLPM。
與大多數(shù)高純半導體工藝氣體具有優(yōu)異的兼容性。
3納米顆粒過濾精度，以最小的壓降保持最高的流動效率。
內表面電解拋光處理，去離子水清洗后用熱氮烘烤，達到半導體工藝標準。
百級潔凈間制造、清洗及包裝。
100%氦泄漏測試。
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