真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力時(shí)的狀態(tài)。真空閥指的是用在真空系統(tǒng)中的閥門，其作用通常為隔離真空區(qū)域（如工藝腔室） 或控制氣體進(jìn)出量。由于真空環(huán)境基本貫穿半導(dǎo)體制造過程始終，因此真空閥在 半導(dǎo)體設(shè)備中也有著普遍而廣泛的應(yīng)用。真空閥和普通閥門在類型上沒有本質(zhì)區(qū)別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥 （調(diào)節(jié)閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計(jì)量閥、止回閥等，在半導(dǎo)體設(shè)備的 真空系統(tǒng)中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應(yīng)用較多；其中，隔離閥和控制閥根 據(jù)工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。

       具體來看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運(yùn)作與否時(shí)起 到禁止/允許氣體進(jìn)入真空泵系統(tǒng)的作用；控制閥主要起到控制氣體流量和壓力 的作用；傳輸閥則可用于晶圓在腔體之間或腔體和 Load Lock 之間的傳輸。

       蝶閥的閥瓣呈圓盤形，圍繞其中軸旋轉(zhuǎn)，旋角大小便是閥門的開閉度，既可作為 隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時(shí)對(duì)占用空間要求較低，適用于緊 湊空間的隔離；又可作為控制閥，實(shí)現(xiàn)快速精確的調(diào)節(jié)。

       球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉(zhuǎn)，球體隨 閥桿轉(zhuǎn)動(dòng)從而達(dá)到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空 等均可使用，同時(shí)在帶有腐蝕性介質(zhì)的或者高溫的系統(tǒng)中也均可適用。

       傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門，可將物體（如晶圓）從一個(gè)腔 室傳送到另一個(gè)腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到，因此傳輸閥是多 腔室系統(tǒng)的理想選擇。