W 形密封和 C 形密封簡介
2024-07-19 16:51:55 來源：邁格諾科官網(wǎng) 游覽：
W 形密封和 C 形密封用于半導(dǎo)體設(shè)備的模塊化氣體系統(tǒng)（IGS）通常由隔膜閥、單向閥、減壓閥、過濾器、壓力傳感器、質(zhì)量流量控制器和基塊等元件組成。這些元件一般為表面安裝式，其密封形式可分為 W 形密封和 C 形密封，選擇合適的密封形式對(duì)確保系統(tǒng)的密封性能至關(guān)重要。那么 W 形密封和 C 形密封有什么異同？
W 形密封和 C 形密封的相同點(diǎn)
W 形密封和 C 形密封的不同點(diǎn)
C 形密封墊片的截面看起來像字母 “C”，兩側(cè)有兩個(gè)扁平的凸臺(tái)密封面。當(dāng)適當(dāng)擰緊時(shí)，墊片的頂部和底部分別受到表面安裝元件（比如 C 形密封閥體）和基塊硬化密封面的擠壓，并形成密封。此外，在安裝 C 形密封墊片時(shí)，可以使用支架一次性定位并安裝多個(gè)墊片。
對(duì)于任何模塊化氣體系統(tǒng)（IGS），W 形密封或 C 形密封均可滿足要求，但是由于執(zhí)行不同的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，因此密封墊片和密封面的結(jié)構(gòu)不同，用戶可以根據(jù)使用習(xí)慣和元件的密封形式選擇相應(yīng)的 W 形密封或 C 形密封。